การเคลือบเหมือนเพชร DLC เป็นฟิล์มบาง ๆ ที่มีลักษณะคล้ายกันซึ่งมีลักษณะคุณภาพสูงของเพชรและกราไฟท์และมีข้อได้เปรียบของความแข็งที่ดีค่าการนำความร้อนค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำ การเคลือบ DLC ส่วนใหญ่จัดทำโดยวิธีการสะสมเฟสไอทางกายภาพและวิธีการสะสมเฟสของไอสารเคมีและผลิตโดยอุปกรณ์สะสมพิเศษ ต่อไปนี้เป็นการแนะนำสั้น ๆ เกี่ยวกับห้าส่วนที่ประกอบขึ้นเป็นอุปกรณ์การเคลือบเคลือบ
1. ระบบทำความร้อนและน้ำเย็น
ระบบทำความร้อนและระบบระบายความร้อนด้วยน้ำมีการกระจายอย่างสม่ำเสมอรอบ ๆ ห้องสะสมและอุณหภูมิความร้อนความเร็วและปริมาตรน้ำสามารถควบคุมได้และปรับได้และติดตั้งอุปกรณ์เตือนภัยที่สอดคล้องกัน ระบบการหมุนตั้งอยู่ที่ด้านล่างของห้องสะสมและเป็นฉนวนโดยฉนวนเซรามิกและความเร็วในการหมุนสามารถควบคุมและปรับได้
2. ระบบสูญญากาศ
ระบบสูญญากาศประกอบด้วยปั๊มกล, ปั๊มราก, ปั๊มการแพร่และวาล์วควบคุมที่สอดคล้องกันและองค์ประกอบการวัดซึ่งสามารถสลับระหว่างสูญญากาศสูงและต่ำได้อย่างอิสระตามข้อกำหนดของกระบวนการ
3. ระบบจ่ายก๊าซ
ระบบจ่ายก๊าซจะถูกวางไว้ที่ด้านบนของห้องสะสมและพันธุ์ก๊าซ ได้แก่ H2, N2, AR, Cha, C2H2 และก๊าซที่มี Si และสองอินเตอร์เฟสถูกสงวนไว้ที่ด้านบนของห้องสะสมเพื่ออำนวยความสะดวกในการเติมก๊าซอื่น ๆ ในอนาคต
เพื่อให้ได้ชั้นการเปลี่ยนผ่านที่มี SI มักใช้ SIH4 เป็นก๊าซวัสดุ แต่ SIH4 นั้นอันตรายกว่าดังนั้นเราจึงเลือกก๊าซที่มี SI ที่มีอันตรายน้อยกว่าเป็นแหล่งกำเนิด SI ในการประมวลผลการเคลือบ
4. ระบบเป้าหมายซ้อนกัน
อุปกรณ์มีสองหน่วยสแต็ค PVD และ PCVD ความตั้งใจหลักของหน่วย PCVD สำหรับการสะสมของเพชร (DLC) แหล่งจ่ายไฟที่เลือกคือการปรับพัลส์ของพารามิเตอร์พารามิเตอร์สามารถปรับได้ นอกจากนี้ยังสามารถเคลือบบนชิ้นงานที่ซับซ้อน ความตั้งใจหลักของหน่วย PVD คือ: (1) สำหรับสารตั้งต้นที่แตกต่างกันเป้าหมายที่แตกต่างกันสามารถถูกแทนที่ด้วยเป้าหมายที่แตกต่างกันและชั้นกาวที่แตกต่างกันหรือการเคลือบ DLC ที่เจือด้วยโลหะที่มีองค์ประกอบต่าง ๆ สามารถพัฒนาได้ (2) หลังจากเปลี่ยนเป้าหมายการเคลือบคอมโพสิตที่หลากหลายของ "Layer + DLC" สำหรับหมวดหมู่ที่แตกต่างกันสามารถเกิดขึ้นได้
5. ระบบควบคุมไฟฟ้า
ระบบควบคุมไฟฟ้าใช้การควบคุมแบบเต็มรูปแบบของ PLC รวมถึงคอมพิวเตอร์โฮสต์คอนโทรลเลอร์ที่ตั้งโปรแกรมได้ PLC ตัวแปลงการปรับตัวแหล่งจ่ายไฟควบคุมแหล่งจ่ายไฟควบคุมสูญญากาศและระบบการวัดแหล่งจ่ายไฟควบคุมแหล่งจ่ายไฟระบบควบคุมอุณหภูมิระบบควบคุมการตรวจจับน้ำเย็น เรียลไทม์. หากมีปัญหาอุปกรณ์จะใช้ความคิดริเริ่มไปสู่การเตือนภัยและตามระดับการเตือนอุปกรณ์จะเลือกเงื่อนไข "รอ" หรือหยุดโดยตรงและดำเนินการต่อไปหลังจากที่การเตือนภัยถูกกำจัด บันทึกการดำเนินการและบันทึกการเตือนของแต่ละเตาจะถูกเก็บไว้อย่างแข็งขันในคอมพิวเตอร์เพื่อการอ้างอิงได้ง่าย ตามข้อกำหนดอุปกรณ์สามารถเปลี่ยนเป็นการทำงานด้วยตนเองได้อย่างสมบูรณ์และพารามิเตอร์การเคลือบสามารถปรับได้ในอินเทอร์เฟซการทำงานหลักในระหว่างกระบวนการเคลือบ